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SEM+EDS扫描电子显微镜

SEM+EDS扫描电子显微镜

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产品详情

In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA 分析型扫描电子显微镜
主要特长
优秀电子光学系统                                                             In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA是日本电子株式会社最新推出机型,沿袭日本电子的优秀电子光学系统,集合了分析扫描电镜精髓功能,设计精简自动化程度高。
使用多点触摸屏,操作舒适                                              In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA通过多点触控技术和最新的操作软件,操作直观简单。只需轻触屏幕就能操控各种功能,舒适便捷。新开发的操作界面简明易懂,即使是SEM新手也能轻松获得高品质的SEM图像,进行EDS元素分析。
能适应各种环境的可移动式扫描电镜                                             In Touch Scope扫描电镜,在手边的PC上就可以进行观察和分析。只要移动触摸屏,在远离装置的地方也能够进行操作。(无线模式操作为选配件)。In Touch Scope主机用脚轮即可移动。
标准配置EDS分析功能的分析型扫描电镜                                          标准配置EDS分析功能的JSM-6010PLUS/LA,不仅能获取高分辨率的图像,在低真空模式下观察非导电性样品,还采用了无需液氮制冷的最新EDS检测器 (DRY SD),能够进行定性分析、定量分析、元素面分布。此外,搭载的大型全对中形样品台可以对应各种样品。
JSM-6010PLUS/LA性能参数
Main Performance on JSM-6010PLUS/LA
Performance
(一) 主要性能 
HV Mode Resolution
高真空模式分辨率 (SE像)   4.0nm @ 20KV   WD 8mm
8.0nm @ 3KV    WD 6mm
15.0nm  @ 1KV  WD 6mm
LV Mode Resolution
低真空模式分辨率 (BE像) 5.0nm @ 20KV  
Magnification
放大倍数                                                              ×8~×300,000 
Detectors
探测器 Secondary Electron Detector
二次电子探测器
★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent)
半导体型背散射电子探测器(专利技术)
Image Mode
图像模式 Secondary Electron Image 
二次电子图像
REF Image
REF像
Composition Image (Backscattered Electron Image)
成份像 (背散射电子图像) 
Topography Image (Backscattered Electron Image)
形貌像 (背散射电子图像) 
Shadow Image (Backscattered Electron Image)
立体像 (背散射电子图像) 
Live Image Display
实时图像显示 Dual Live Image Display, Split Live Image, 
双实时图像同时显示, 分割实时图像显示 
Accelerating Voltage
加速电压 0.5KV ~ 20KV

Low Vacuum Degree
低真空度 10 to 100 Pa (Settable with graphic menu)
(软件控制菜单设定)
Probe Current
探针束流 1pA ~ 0.3uA
Electron Optics
(二) 电子光学系统 
Filament
灯丝                                     Factory pre-centered tungsten hairpin filament
工厂预对中钨灯丝
★Gun Bias Voltage
电子枪偏压 Seamless automatic bias
无缝式自给偏压, 连续调整
Gun Alignment
电子枪合轴 Auto alignment
自动合轴
Filament Heating
灯丝加热 Auto heating
自动加热
★Condenser Lens
聚光透镜                                 Two stage zoom type condenser lens – (patent)
变焦聚光透镜系统 – 专利技术
★Objective Lens
物镜 Super conical type objective lens
超级锥形物镜
Objective Lens Aperture
物镜光阑 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions
1孔固定,可在X和Y方向微调
Focus
聚焦 Auto/Manual focus
自动/手动聚焦
Stigmator
像散 Auto/Manual stigmator
自动/手动消像散
★Stigmator Memory
像散存储器                               Standard,  Auto/Manual
标准配置,自动/手动补偿像散
★Electrical Image Shift
图像移动                                 X-Y , ±50um
Specimen Stage
(三) 样品台 
Type
样品台类型 Eucentric type stage 
全对中样品台
Traverse
行程                                    
 X     :  80mm;
Y     :  40mm;
Z     :  5 ~ 48mm;
倾斜 T:  -10 ~ +90°
旋转 R:  360°连续endless
Maximum Specimen Size
最大样品尺寸 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted
可装直径150mm高度为48mm的样品
Maximum Size of Observation
最大观察视野 125mm diameter
直径125mm
Image Display
(四) 图形显示 
Pixels
显示像素 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840
Image Process
图像处理 Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image
平均值, 灰度修正, 反差增强, 伪彩, 二及四分屏, 2及4倍数码变焦
File Save
文件存储格式 BMP, TIFF, JPEG
Operation System
(五) 操作系统   
PC
计算机 23英寸触摸屏式台式电脑
OS :  Windows 7 (英语版)
Metrological function
(六) 测量功能 
Distance between parallel lines
平行线间距测量 Horizontal, vertical, diagonal
垂直, 水平, 对角
Distance between 2 points
2点之间距离测量 Distance between any 2 points
任意2点间距离
Circle
圆的测量 Diameter
直径
Distance between 2 circle centers (not supported by the touch-panel operation)
2个圆中心间距离(触摸屏操作下不支持此功能)
Angle
角度测量 Angle
角度
Area
面积测量 Area of circles and polygons
圆和多角形
Count
计数 Particle count
颗粒计数
Vacuum System
(七) 真空系统 
Ultimate Pressure
真空度 HV mode 0.1mPa
高真空模式 1×10-4Pa
LV mode 1mPa(at the specimen chamber pressure 27Pa)
低真空模式1×10-3Pa(当样品室真空为27Pa时)
Evacuation Time
抽真空时间 HV mode 3 min

Pump System
真空泵系统                              One TMP, One RP
一个分子泵, 一个机械泵
Safety devices
(七) 安全装置 Power failure, Water failure, Pressure rise, Leak current
断电,断水,泄压,漏电保护
Auto Function 
(八) 自动功能 Auto gun control, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast and brightness
自动电子枪控制,自动聚焦,自动消像散,自动反差和亮度
Miscellaneous
(九) 扩展接口 EDS 能谱仪、Chamber Scope红外相机、Probe Current Detector束流监视器
EDS Performance:
(十)能谱仪主要性能 
Detector
探测器 Box SDD detector (no liquid nitrogen needed)
电制冷方式Box SDD 探测器 – 不用液氮
Effective area of detector
探头有效扫描面积 10 mm2
Detector movement
探测器移动 Fixed
固定
Resolution
分辨率 129eV or better (55Fe, 5.9 keV, 1000 cps)
Detectable element range
元素分析范围 B(5) to U(92)
硼  至 铀
Window
窗口 Atmospheric pressure-resistant, Ultra-thin film
抗大气压的超薄窗
X-ray take-off angle
取出角 35°(WD:10mm)
Cooling
制冷方法 Peltier cooling
Standard Function Built in
标准搭载功能 Qualitative Analysis 定性分析
Quantitative Analysis 定量分析
Active Mapping 活区面分析
Point Analysis   点分析
Probe Tracking 束流追踪


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产品详情

In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA 分析型扫描电子显微镜
主要特长
优秀电子光学系统                                                             In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA是日本电子株式会社最新推出机型,沿袭日本电子的优秀电子光学系统,集合了分析扫描电镜精髓功能,设计精简自动化程度高。
使用多点触摸屏,操作舒适                                              In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA通过多点触控技术和最新的操作软件,操作直观简单。只需轻触屏幕就能操控各种功能,舒适便捷。新开发的操作界面简明易懂,即使是SEM新手也能轻松获得高品质的SEM图像,进行EDS元素分析。
能适应各种环境的可移动式扫描电镜                                             In Touch Scope扫描电镜,在手边的PC上就可以进行观察和分析。只要移动触摸屏,在远离装置的地方也能够进行操作。(无线模式操作为选配件)。In Touch Scope主机用脚轮即可移动。
标准配置EDS分析功能的分析型扫描电镜                                          标准配置EDS分析功能的JSM-6010PLUS/LA,不仅能获取高分辨率的图像,在低真空模式下观察非导电性样品,还采用了无需液氮制冷的最新EDS检测器 (DRY SD),能够进行定性分析、定量分析、元素面分布。此外,搭载的大型全对中形样品台可以对应各种样品。
JSM-6010PLUS/LA性能参数
Main Performance on JSM-6010PLUS/LA
Performance
(一) 主要性能 
HV Mode Resolution
高真空模式分辨率 (SE像)   4.0nm @ 20KV   WD 8mm
8.0nm @ 3KV    WD 6mm
15.0nm  @ 1KV  WD 6mm
LV Mode Resolution
低真空模式分辨率 (BE像) 5.0nm @ 20KV  
Magnification
放大倍数                                                              ×8~×300,000 
Detectors
探测器 Secondary Electron Detector
二次电子探测器
★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent)
半导体型背散射电子探测器(专利技术)
Image Mode
图像模式 Secondary Electron Image 
二次电子图像
REF Image
REF像
Composition Image (Backscattered Electron Image)
成份像 (背散射电子图像) 
Topography Image (Backscattered Electron Image)
形貌像 (背散射电子图像) 
Shadow Image (Backscattered Electron Image)
立体像 (背散射电子图像) 
Live Image Display
实时图像显示 Dual Live Image Display, Split Live Image, 
双实时图像同时显示, 分割实时图像显示 
Accelerating Voltage
加速电压 0.5KV ~ 20KV

Low Vacuum Degree
低真空度 10 to 100 Pa (Settable with graphic menu)
(软件控制菜单设定)
Probe Current
探针束流 1pA ~ 0.3uA
Electron Optics
(二) 电子光学系统 
Filament
灯丝                                     Factory pre-centered tungsten hairpin filament
工厂预对中钨灯丝
★Gun Bias Voltage
电子枪偏压 Seamless automatic bias
无缝式自给偏压, 连续调整
Gun Alignment
电子枪合轴 Auto alignment
自动合轴
Filament Heating
灯丝加热 Auto heating
自动加热
★Condenser Lens
聚光透镜                                 Two stage zoom type condenser lens – (patent)
变焦聚光透镜系统 – 专利技术
★Objective Lens
物镜 Super conical type objective lens
超级锥形物镜
Objective Lens Aperture
物镜光阑 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions
1孔固定,可在X和Y方向微调
Focus
聚焦 Auto/Manual focus
自动/手动聚焦
Stigmator
像散 Auto/Manual stigmator
自动/手动消像散
★Stigmator Memory
像散存储器                               Standard,  Auto/Manual
标准配置,自动/手动补偿像散
★Electrical Image Shift
图像移动                                 X-Y , ±50um
Specimen Stage
(三) 样品台 
Type
样品台类型 Eucentric type stage 
全对中样品台
Traverse
行程                                    
 X     :  80mm;
Y     :  40mm;
Z     :  5 ~ 48mm;
倾斜 T:  -10 ~ +90°
旋转 R:  360°连续endless
Maximum Specimen Size
最大样品尺寸 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted
可装直径150mm高度为48mm的样品
Maximum Size of Observation
最大观察视野 125mm diameter
直径125mm
Image Display
(四) 图形显示 
Pixels
显示像素 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840
Image Process
图像处理 Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image
平均值, 灰度修正, 反差增强, 伪彩, 二及四分屏, 2及4倍数码变焦
File Save
文件存储格式 BMP, TIFF, JPEG
Operation System
(五) 操作系统   
PC
计算机 23英寸触摸屏式台式电脑
OS :  Windows 7 (英语版)
Metrological function
(六) 测量功能 
Distance between parallel lines
平行线间距测量 Horizontal, vertical, diagonal
垂直, 水平, 对角
Distance between 2 points
2点之间距离测量 Distance between any 2 points
任意2点间距离
Circle
圆的测量 Diameter
直径
Distance between 2 circle centers (not supported by the touch-panel operation)
2个圆中心间距离(触摸屏操作下不支持此功能)
Angle
角度测量 Angle
角度
Area
面积测量 Area of circles and polygons
圆和多角形
Count
计数 Particle count
颗粒计数
Vacuum System
(七) 真空系统 
Ultimate Pressure
真空度 HV mode 0.1mPa
高真空模式 1×10-4Pa
LV mode 1mPa(at the specimen chamber pressure 27Pa)
低真空模式1×10-3Pa(当样品室真空为27Pa时)
Evacuation Time
抽真空时间 HV mode 3 min

Pump System
真空泵系统                              One TMP, One RP
一个分子泵, 一个机械泵
Safety devices
(七) 安全装置 Power failure, Water failure, Pressure rise, Leak current
断电,断水,泄压,漏电保护
Auto Function 
(八) 自动功能 Auto gun control, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast and brightness
自动电子枪控制,自动聚焦,自动消像散,自动反差和亮度
Miscellaneous
(九) 扩展接口 EDS 能谱仪、Chamber Scope红外相机、Probe Current Detector束流监视器
EDS Performance:
(十)能谱仪主要性能 
Detector
探测器 Box SDD detector (no liquid nitrogen needed)
电制冷方式Box SDD 探测器 – 不用液氮
Effective area of detector
探头有效扫描面积 10 mm2
Detector movement
探测器移动 Fixed
固定
Resolution
分辨率 129eV or better (55Fe, 5.9 keV, 1000 cps)
Detectable element range
元素分析范围 B(5) to U(92)
硼  至 铀
Window
窗口 Atmospheric pressure-resistant, Ultra-thin film
抗大气压的超薄窗
X-ray take-off angle
取出角 35°(WD:10mm)
Cooling
制冷方法 Peltier cooling
Standard Function Built in
标准搭载功能 Qualitative Analysis 定性分析
Quantitative Analysis 定量分析
Active Mapping 活区面分析
Point Analysis   点分析
Probe Tracking 束流追踪


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